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扩散泵是真空镀膜机的主要部件，属于高真空泵，使机器能够在状态下运行，通常对于真空镀膜机扩散泵的维护和保养是非常重要的。今天我就和大家分享一下真空镀膜机扩散泵的维修保养知识
1. 扩散泵的冷却水在工作过程中必须是光滑的，在停止加热后，待泵的工作液完全冷却后，才能将冷却水关掉。
2. 扩散泵停止工作时，应将泵保持在真空中，以免泵油变质。
3.泵送的气体应是干燥、无腐蚀性、无粉尘的气体。
4. 如果扩散泵暂时不使用，在储存期间应保持真空，以避免泵油的污染和对各部件的腐蚀，并应将冷却水中剩余的水吹干净。室温保持在10 - 40摄氏度之间
5、扩散泵长期工作后性能会逐渐恶化，应定期检查。如:泵内油是否减少或氧化，按相应要求进行加油或更换处理;零件及泵腔先用航空汽油清洗，再用丙酮擦洗，80-100摄氏度烘干或用吹风机吹干。加工后，按顺序组装，保持泵芯与泵底垂直，泵腔同心，各级喷嘴间隙应按原要求调整。
6、水挥发干后，安装泵芯，添加新的扩散泵油，并装回机体，连接水管，安装电炉板，即可重新启动。
7、重新启动前，注意检漏。方法是:启动维修泵，关闭真空室门。几分钟后，观察真空度是否为0pa 6*10。否则，要检查泄漏情况，检查连接处的密封橡胶圈是否安装好或破损。隐藏式漏气可先加热消除，否则扩散泵油会烧尽，无法进入工作状态。
