镀膜前真空镀膜机的清洗

在材料被真空镀膜机涂覆之前，需要对其进行清洁，即当前的真空清洁工艺。真空镀膜机的真空清洁通常被定义为在真空处理之前从工件或系统材料的表面去除不需要的物质的过程。真空部件的表面清洁处理是必要的，因为污染物引起的气体和蒸汽源会阻止真空系统达到所需的真空度。此外，污染物的存在也会影响真空部件连接的强度和密封性能。

1、 真空加热清洗

将工件置于常压或真空下加热。促进其表面挥发性杂质的蒸发以达到清洁的目的，这种方法的清洁效果与工件的环境压力、在真空中的停留时间长短、加热温度、污染物的类型以及工件的材料有关。其原理是加热工件。增强水分子和吸附在其表面的各种碳氢化合物分子的解吸。解吸增强的程度与温度有关。为了在超高真空下获得原子级清洁表面，加热温度必须高于450摄氏度。加热清洁方法特别有效。但有时，这种治疗方法也会产生副作用。由于加热过程，某些碳氢化合物可能会聚集成更大的颗粒，同时分解成碳渣

2、 紫外线照射清洗

利用紫外线辐射分解表面的碳氢化合物。例如，暴露在空气中15小时可以产生干净的玻璃表面。如果将经过适当预清洁的表面置于产生臭氧的紫外线源中。清洁的表面（过程清洁）可以在几分钟内形成。这表明臭氧的存在提高了清洁率。清洁机制是在紫外线辐射下，污垢分子受到刺激并离解，而臭氧的产生和存在会产生高活性的原子氧。被激发的污垢分子和污垢离解产生的自由基与原子氧相互作用。形成更简单、更易挥发的分子。例如，H203、CO2和N2。反应速率随着温度的升高而增加。

3、 放电清洁

这种清洁方法广泛用于高真空和超高真空系统的清洁和脱气。特别是在真空镀膜机中。使用热线或电极作为电子源。相对于待清洁的表面施加负偏置电压可以实现离子轰击气体解吸和某些碳氢化合物的去除。清洁效果取决于电极材料、几何形状及其与表面的关系。它取决于每单位表面积的离子数量和离子能量。这取决于有效的电力。用惰性气体（通常为Ar气体）的适当分压填充真空室。清洁可以通过利用由两个适当电极之间的低电压辉光放电产生的离子轰击来实现。在这种方法中。惰性气体被电离并轰击在真空室的壁、真空室中的其他结构部件和涂层基底上，这可以防止某些真空系统在高温下被烘烤。如果将氧气添加到填充的气体中，可以对某些碳氢化合物实现更好的清洁效果。因为氧气可以氧化某些碳氢化合物产生挥发性气体，所以很容易被真空系统消除。不锈钢高真空和超高真空容器表面杂质的主要成分是碳和碳氢化合物。一般来说，其中的碳不能单独挥发。化学清洁后，需要引入Ar或Ar+O2气体的混合物进行辉光放电清洁，以去除由于化学反应而结合到表面的杂质和气体。在辉光放电清洁中。最重要的参数是施加电压的类型（AC或DC）、放电电压大小、电流密度、填充气体的类型和压力。轰炸的持续时间。电极的形状以及待清洁部件的材料和位置。