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真空镀膜机主要是指一种需要在高真空下进行的镀膜设备,包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等多种类型。
真空镀膜机的正常工作条件是什么?让我们一起来看一看:
1.环境温度:10~30℃
2.相对湿度:不超过70%
3.冷却水入口温度:不高于25℃
4.冷却水水质:城市自来水或同等水质的水
5.电源电压:380V,三相50Hz或220V,单相50Hz(根据所用电器的需要而定),电压波动范围342-399V或198V-231V,频率波动范围49-51Hz;
6.设备所需的压缩空气、液氮、冷水和热水的压力、温度和消耗量应在产品手册中明确说明。
7.设备周围环境应清洁,空气应清洁,不得有可能导致电器等金属部件表面腐蚀或金属间导电的灰尘或气体
此外,真空沉积设备所在的实验室或车间应保持清洁。地面由水磨石或木漆地面制成,没有灰尘。为了防止机械泵在运行过程中排出的气体对实验室环境造成污染,可以在泵的排气口上方安装排气管(金属或橡胶管),将气体排到室外。