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镀膜设备厂家根据技术要求来选择电镀方法和方法,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控制源(同轴圆柱形磁控制源、圆柱形平面磁控制源、矩形平面磁控制源等)以目标原料和尺度多弧源(ф 60, ф 80口径靶,气动,电弧等),真空测量可选用数字式智能真空计和测量管,以及其他测量仪器,如主动压力控制仪器等。薄膜厚度的测量可选用块状电阻测量仪、透光仪等。充料方式可选择质量流量计、浮子流量计+针阀及相应的充料阀,并可选择多个充料管道及相应的流量参数。
根据烘烤结构,真空镀钛厂家提出了烘烤温度、原料及相应仪器测量所需的设备。真空镀钛厂家根据设备的特点,可选择手动、半主动、全主动或各自组合的控制方式。完善的报警系统,对真空室本体、分散泵断相、缺水、气压、供电负荷超压、过流等异常情况进行声光报警