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如何测量真空镀膜机的膜厚?

2023-06-27 15:06:04

真空镀膜机涂布后,可能需要测量薄膜的厚度。用什么方法测量薄膜的厚度?

最直接的镀膜控制方法是时间晶体微平衡法(QCM),它可以直接驱动蒸发源,并通过PID控制循环驱动挡板维持蒸发速率。

只要将仪器连接到系统控制软件,就可以控制整个涂覆过程。然而,(QCM)的精度是有限的,部分原因是它监测涂层的质量而不是其光学厚度。

此外,虽然QCM在低温下非常稳定,但在高温下对温度非常敏感。在长时间的加热过程中,很难防止传感器落入这个敏感区域,从而对薄膜产生较大的误差。

光学监测是高精度涂层的监测方法,因为它允许更地控制薄膜厚度(如果使用得当)。

精度的提高来自许多因素,但最根本的原因是光学厚度的监测。


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