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真空电镀机的保养要点
目前，我国真空镀膜机主要是指需要在较高真空度下进行的涂层，包括多种真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机、真空中频磁控溅射镀膜机、多功能中频磁控溅射多弧复合材料离子镀膜机、真空光学（电子束蒸发）涂布机等系列真空镀膜设备分为蒸发和溅射。
真空镀膜机每200道工序应清洗一次工作间。用NaOH饱和溶液反复洗涤真空室壁的目的是使铝（AL）与NaOH发生反应，释放氢气。然后用清水清洗真空室，用沾有汽油的布清洁细抽汽阀内的污垢。
扩散泵连续使用6个月以上，泵速明显减慢，或操作不当。将其填充大气，拆下连接管，拆下电炉板，拧出一次喷嘴，用汽油清洗泵室和泵油箱，再用清水混合的洗衣粉冲洗干净，再用清水彻底清洗。水蒸发后，安装泵箱，加新扩散泵油，装回机器连接水管，安装电炉板，再重新启动机器。重启前注意检漏。方法：启动检修泵，关上门，几分钟后观察扩散泵真空度是否达到6x10pa，否则需进行泄漏检测。检查接头是否装有密封橡胶圈，或密封圈是否压碎。加热前消除漏气隐患，否则扩散泵油会烧坏环，无法进入工作状态。
粗加工泵（滑阀泵、旋片式泵）连续工作一个月（雨季半小时）时，需更换新油。方法是：拧上打开的油螺栓，排掉旧油，再启动泵几秒钟，使泵内的老油完全排出。拧下机油螺栓，并向油位添加新机油（机油观察镜观察）。如果连续使用半年以上，更换机油时打开机油盖，用布清洁箱内污垢。
