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分析了影响磁控溅射镀膜靶电源空载电压的因素
(1)目标电源输出的空载电压主要用于磁控目标的“点火点亮”，其峰值电压大致可分为三个档位，即800V-1KV-1.2(或1.3)KV左右。
(2) 5KW以下目标电源空载电压输出峰峰VP-P一般在1-1.3kV左右;5KW以上目标电源输出空载电压的峰-峰VP-P约为800~1KV。功率越大，输出空载电压越接近较低值。
(3)对于铁磁性靶材(铁、钴、镍、氮化铁)等铁氧体靶材，在选择靶材电源输出空载电压时，应选择靶材电源输出空载电压峰值vP-p范围较大的值。
