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1、 真空镀膜机应每200道镀膜工序清洁一次工作间。
方法如下：用氢氧化钠饱和溶液反复擦洗真空室壁（注意人体皮肤不能直接接触氢氧化钠溶液，以免灼伤）。目的是使镀在膜上的铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜脱落，释放氢气。然后用清水清洗真空室，用沾有汽油的布清洗精抽阀内的污物。
2、 扩散泵连续使用6个月以上，泵速明显减慢，或操作不当。将其灌入大气，取下连接水管，取下电炉板，拧出一次喷嘴，用汽油清洗泵室和泵箱，然后用掺水的洗衣粉清洗，再用清水彻底清洗。待水蒸发后，安装泵箱，加入新的扩散泵油，将扩散泵回油安装到机器上，连接水管，安装电炉，然后重新启动机器。重启前注意检漏。
方法是：启动检修泵，关上门，几分钟后，观察扩散泵真空度是否达到6x10pa，否则要进行检漏。检查接头是否有密封胶圈，或密封圈是否压坏。加热前排除漏气隐患，否则扩散泵油会烧坏油环，无法进入工作状态。
3、 粗油泵（滑阀泵、旋片泵）连续工作一个月（雨季为半个月）时，需更换新油。
方法是：拧上打开的油螺栓，排干旧油，然后启动泵几秒钟，使泵内的旧油完全排出。拧上机油螺栓并向机油油位添加新机油（机油观察镜观察）。连续使用半年以上的，换油时打开油盖，用布擦净箱内污垢。
