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磁控溅射镀膜常见问题及解决方法
一、无法启动照明
（1） 直流电源故障，检查直流电源；
（2） 检查氩气流量计，当氩气进口量较小时，增加氩气进气量；
（3） 真空室清洁度不好，清洁真空室；
（4） 检查目标的绝缘是否对地短路。在供水条件下，对地电阻应大于50KΩ；
（5） 如果磁场强度不好，检查永磁体是否消磁；
（6） 真空度太差了。检查真空系统。
二、不稳定发光
（1） 电压、电流不稳定，检查电源；
（2） 真空系统和氩气入口压力；
（3） 电缆故障，检查电缆连接是否良好。
三、胶片质量差
（1） 基板表面清洁度差，基板表面清洁；
（2） 真空室清洁度差，应清洗真空室；
（3） 如果基板温度过高或过低，检查温度控制系统并校准热电偶；
（4） 如果真空室压力过高，检查真空系统；
（5） 溅射功率设置不正确。检查直流电源并设置设定功率。
四、低溅射率
（1） 如果氩气进气量过大或过小，可通过观察辉光颜色判断氩气是否过大或过小，并相应调整氩气进气量；检修流量计；
（2） 目标过热，检查冷却水流量；
（3） 检查永磁体是否消磁。
