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真空镀膜机低真空抽气的基本要求是高工作压力和大风量，但对抽速的要求不如高真空机组。因此，镀膜机的低真空抽气机通常用作粗真空室。低真空泵通常采用罗茨泵、分子筛吸附泵、油蒸汽喷射泵、蒸汽喷射泵、水环泵、往复泵、油封泵等，这些常见的低真空泵除了罗茨泵和蒸汽喷射泵不能直接排放到大气中，其他泵可以直接排放到大气中。
除抽气装置的一些基本标准要求外，使用低真空抽油机还需要通过抽气的清洁度、湿度等特性，安装除尘器或干燥罐等防护措施。除尘器的优点和缺点是显而易见的。其优点是可以保护机械泵，但缺点是降低泵的有效泵速，增加设备的经济预算，阻碍设备的维护。目前市场上的除尘器有粗集尘器（金属网除尘器、旋风除尘器）和细集尘器（油膜除尘器和油雾除尘器）两种类型。
1、粗除尘（金属网除尘器）
金属网除尘器的基本版本是钢屑过滤器，其结构比较简单，是一种结构简单的装置，将金属切削屑装入金属丝网袋中。安装在镀膜真空室的管道出口处，便于取出和推进。这种除尘器的尺寸一般为20-60厘米。其工作原理是依靠芯片的机械阻隔作用，可以起到去除灰尘中一些较大颗粒的作用，同时也有一定的冷却效果。在后来改进的金属网除尘装置中，在储油器中安装了部分泵油，这样气流中的大部分粉尘颗粒就可以在油中被去除，而没有粘附在油面上的粉尘颗粒则被金属网除去。
2、精细除尘（油膜除尘器）
真空镀膜机气缸内装有带孔的多层金属膜片，膜片上装有金属或陶瓷环，气缸上装有带循环油泵的喷油环喷嘴，使气流经过时灰尘能被油膜附着。不仅具有良好的除尘能力，而且具有良好的气体冷却效果。
