0757-86136159
为客户提供个性化的解决方案以及快捷优质的售后服务
真空镀膜机要达到理想的真空状态，必须配备真空抽吸系统，所以扩散泵是真空镀膜机不可缺少的抽吸部件之一，为了使机器能够在状态下运行，真空镀膜机抽吸系统中扩散泵的维护环节必不可少。今天小编就为大家梳理一下真空镀膜机扩散泵的保养步骤，希望对大家有所帮助:
1. 真空镀膜机运行过程中，扩散泵的冷却水必须畅通，停止加热后，待泵工作液完全冷却后，方可关闭冷却水。
2. 扩散泵停止工作时，应注意保持泵内真空状态，避免泵油变质。
3.泵送气体应为干燥、无腐蚀性、无粉尘气体。
4. 扩散泵如暂不使用，贮存时应保持真空状态，以免泵油污染和各部件腐蚀，冷却水剩余水应吹净。把室温保持在10到40摄氏度之间。
5、扩散泵长期工作后性能会逐渐恶化，应定期检查。如:泵油是否减少或氧化，按相应要求进行加油或更换处理;零件和泵腔先用航空汽油清洗，然后用丙酮擦洗，在80-100摄氏度的温度下干燥或用吹风机吹干。加工后依次组装，保持泵芯与泵底垂直，泵腔同心，各级喷嘴间隙应按原要求调整。
6、待水挥发干燥后，安装泵芯，添加新的扩散泵油，并装回机体，连接水管，安装电炉板，即可重新启动。
7、重启前，注意检漏。方法是:启动维修泵，关闭真空室门。几分钟后，观察真空度是否为6*10的0 pa。否则应检查有无泄漏，并检查连接处是否安装密封橡胶圈或断裂。隐藏的漏气可以在消除前加热，否则扩散泵油烧坏无法进入工作状态。
在真空镀膜机的运行过程中，虽然扩散泵环节的维护是必不可少的，但是真空镀膜机是由很多部件组成的，一个部件的故障将直接影响真空镀膜机的正常运行。扩散泵的保养是必不可少的，其他部件的保养也是不可或缺的。
