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对于我们的真空镀膜机，工作室每200道镀膜工序应清洗一次。方法是用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦拭真空室壁，(注意人体皮肤不能直接接触烧碱溶液，以免烫伤)目的是使电镀铝(AL)的膜材料与NaOH反应，反应后膜层脱落，并释放氢气，再用清水清洗真空室和沾有汽油的布清洗阀门内的污垢。
真空镀膜机扩散泵连续使用半年以上，抽气速度明显变慢，或操作不当，注满空气及下链管、电板后，将主喷嘴挤出，用汽油泵腔及泵胆再清洗一遍，用清洁剂水清洗一遍，再用清水清洗干净彻底，待泵内水分挥发干燥后，再加新油扩散泵，并装回机体，接上水管，装上电炉板，即可重启。重启前请注意泄漏检测。方法是启动维修泵，关上门。几分钟后，观察扩散泵真空度是否达到6X10 pa，或进行检漏。检查接头是否装有密封橡胶圈或密封圈断裂。排除隐藏漏风后即可加热。否则扩散泵油会烧坏环，无法进入工作状态。
当原油泵(滑阀泵、旋转叶片泵)连续工作一个月(雨季过半)时，需要更换新油。方法是打开油栓，放掉旧油，然后启动泵几秒钟，使泵内的旧油完全排出。转动放油螺杆，添加新油至量(油镜)。连续使用半年以上后，换油时应打开油盖，盒内污垢应用布擦拭。
