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几乎所有型号的真空镀膜机都配有冷水机。在镀膜过程中，对于需要真空镀膜机冷却的部件，在合适的温度下进行冷却，冷水机起着不可或缺的作用。
中频真空镀膜机一般配备冷水机作为镀膜机(主要是圆柱靶)的冷却设备。那么冷水机在真空镀膜工艺或镀膜设备中起到什么作用呢?没有冷水机的影响是什么?
真空镀膜的工作原理是薄膜体在高温下蒸发掉在工件表面。因为空气对膜分子的蒸发会产生阻力导致碰撞，使晶体变得粗糙没有光，所以必须在高真空下使晶体细而亮，如果真空不高，晶体会失去光泽粘合也很差。早期真空镀膜靠蒸发体自然散射，粘结效率差，光泽度低。
现在加上中频磁控溅射靶用磁控溅射靶将蒸发的膜体分子在电场的作用下加速轰击靶体，溅射出大量的目标原子，中性目标原子(或分子)沉积在基底膜上，解决了以往自然蒸发无法加工的薄膜品种，如镀钛锆等。
如果设备必须加冷却水，因为其电流频率高。当电流在导体中流动时，会产生集肤效应，电荷会聚集在电导的表面积上，使电导升温，因此导体采用中间有水的介孔管进行冷却。
(主要是圆柱形靶)为什么要水冷却?磁控溅射靶在射击过程中产生高温使枪变形，因此它有一个水套来冷却枪。同时，磁控溅射能被认为是涂层技术中Z杰出的成就之一，还有一个重要的原因。具有溅射速率高、衬底温升低、膜基结合力好等特点。
从更深入的层面研究了电子在非均匀电磁场中的运动，讨论了磁控溅射的更一般的原理，横向磁场的非均匀性和对称性是磁约束的根本原因。磁控溅射是涂层技术中Z突出的成就之一。具有溅射速率高、基片温升低、膜基结合力好、器件性能稳定等特点。
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