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真空镀膜机精度抽速慢的原因主要从以下几个方面找到:
首先，扩散泵可能不是很好。
解决方法:可以用电离计测量单扩散泵的泵口，看单扩散泵的抽吸能达到多少，再看抽吸时间和极限，然后比较。
二、真空系统有轻微漏气。
解决方法:需慢慢检测泄漏，看抽真空时间是否能达标。
三、箱子太脏，太脏的气体大。
解决方法:清洗纸箱
四、前级真空度不好，机械泵或机械泵加罗茨泵的终 极真空度不好。
解决方法:可单独用电阻计检测前管。
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