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真空镀膜机过程的清洁度是影响真空镀膜附着力的主要指标之一。因此，为了避免真空污染，设备零件的表面清洗处理是非常重要的。真空镀膜机设备表面处理有四种基本方法
1、 溶剂脱脂
附着在真空设备零件上的油可分为动植物油和矿物油。动植物油可用碱溶液化学法除去，矿物油可用有机溶剂除去。
然而，在实际的清洗设备中，通常使用两种溶剂。
2、 酸碱侵蚀处理
设备除油后，金属表面的氧化物可用酸蚀或碱蚀去除。热处理后，设备零件无油污。真空退火后可直接进行酸/碱腐蚀去除氧化层污染。
3、 电化学清洗和电解抛光
介绍了电化学清洗的原理和配方，指出电解抛光的电解液不同于电解蚀刻液。电化学抛光的电解液配方和抛光规范如下：
1正磷酸（H₃Po₄）：65%（质量百分比）；
2硫酸：15%；
3.铬酸（CRO₃）：6%；
4去离子水：14%；
5电流密度：0.2~0.5a/cm2；
6电压：6~12V；
7工作温度：约75°C；
8时间：5～10min。
电抛光后，将零件放入2%-5%氨水中15s-20s，用水冲洗，用无水乙醇脱水，干燥。
4、 超声波清洗
超声波清洗原理：利用超声波引起的“空洞现象”原理（即通过超声波振动改变清洗介质的密度），达到真空镀膜设备的清洗效果。超声波的振动使介质稀疏时形成瞬时间隙，闭合时产生的瞬时冲击压力可高达几倍大气压冲击力，足以破坏附着在物体表面的油膜，使油膜和污染物落入一起解决。
