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1.如果真空表没有损坏，一般不需要修理回油。主要用于清洁真空室内扩散泵的油。用汽油擦拭真空室的所有壁，然后用酒精擦拭。清洁是关键。如果室内有油，则会出现白色镀膜和漆膜质量差。这不是因为电镀设备的损坏，而是因为真空室内有油。
2.如果真空电镀设备的扩散泵经常回油，可能是以下问题：
1.冷却水回路堵塞或水压不足，导致冷却能力下降，扩散泵上部变热，油蒸汽不能很好液化。解决方案是将扩散泵入口管与4MPa气源连接，吹净水垢，出口管也吹4MPa。如果水垢多且牢固，可引入稀盐酸。或更换扩散泵。
2.加热温度过高。由于扩散泵加热器的功率与额定功率不一致，将导致大量蒸汽和回油。可以通过更换电炉丝来解决。
3.如果换料量太大，很容易导致蒸汽循环缓慢，压缩至较低液位时蒸汽滞留，导致回油。可以避免根据制造商提供的信息控制换料量。
4.油氧化。扩散泵油氧化后，粘度和蒸汽流量受到影响。如果未达到喷射速度，它将自然返回真空室。拆下扩散泵，取出泵芯，用120#汽油清洗，然后抛光，抛光积碳和黑色氧化层，再次用120#汽油清洗，干燥，然后安装，倒入扩散泵油或硅油，加热几次后才能投入使用。防止工件污染。
