真空镀膜机油扩散泵的工作原理

真空镀膜机油扩散泵的应用压力范围为10-1Pa-10-7Pa，利用气体的扩散现象排出。它具有结构简单、操作方便、泵速大（可达10+5L/s）的特点。主要由多级油泵、扩散器泵和喷嘴（d-4#）按日本型号组成。

扩散泵油储存在扩散泵的底部，上部为进气口，右侧下部为排气口。在运行过程中，机械泵为出风口提供预压，作为预泵。

当扩散泵的油被电炉加热时，产生的油蒸汽提供预压，机械泵作为预泵。当扩散泵油被电炉加热时，产生的油蒸汽通过伞嘴沿导管向下喷射。由于喷嘴外的机械泵提供1-10-1 PA的真空，油蒸汽可以喷射一定距离，形成向排气口移动的射流。射流最终接触冷却水冷却的泵壁，冷凝成液体流回蒸发器，即通过油蒸发射流冷凝和反复循环实现抽气。

一旦从进气口进入泵的气体分子落入蒸汽流中，它们将获得向下运动的动量并向下飞行。由于射流具有高流速（约200m/s）、高蒸汽密度和高分子量（300-500）的扩散泵油，可有效带走气体分子。因此，气体分子不能长时间停留在射流界面上，在射流界面两侧，萃取气体的浓度差异很大。正是由于这种浓度差异，提取的气体可以连续穿过界面，扩散到射流中，被带到出口，然后被出口处的机械泵抽走。

扩散泵的油蒸汽压是决定泵极限真空的重要因素。因此，应尽量选用饱和蒸汽压较低的泵油，其化学特性应较好。

扩散泵不能单独用于抽气。通常，泵的出口压力要求为40 PA。扩散泵的泵送速度取决于第  一级喷嘴和泵体进口直径之间的环形区域。泵送速度不是一个恒定值，而是随入口压力而变化。当压力为10-2~10-3pa时，扩散泵的抽速最快。当压力小于5*10-4Pa时，扩散泵的泵送速度最小，几乎没有泵送能力（此时进气口压力较高）。由于空气密度高，蒸汽流无法形成高速射流以阻止空气的反扩散，因此泵速降低）。

扩散泵安装前应清洗干净，方可装入扩散油。在加热机油之前，必须对泵抽真空。停机前，扩散泵油必须冷却至60~70℃，关闭前级抽气，最后关闭冷却水。

由于油扩散泵无法消除回油的可能性，因此无法确保精密产品的100%纯度，尤其是在半导体行业。因此，有“高真空凝结水泵+低真空机械泵”组成的无油真空系统。冷凝泵组成的排气系统不仅排气效率高，而且能有效地保证真空室的清洁度，保证产品质量（避免产品污染，增强薄膜与基材的附着力），但其维护成本非常高且昂贵，因此，渗透率没有扩散泵的渗透率宽。