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真空镀膜机是在真空环境下将物质转化为气态,然后沉积在待镀表面上的一种技术设备。其工作原理主要基于真空技术和蒸发或溅射工艺。
首先,真空镀膜机需要抽走工作室内的气体,保证镀膜过程在真空环境下进行。这通常是通过使用机械泵、分子泵、离心泵等真空泵来抽取工作室内的气体,直到达到所需的真空度。真空度的高低对薄膜的质量和性能有着重要的影响,因此真空技术是真空镀膜机工作原理中至关重要的一环。
其次,在涂层过程中,需要将涂层材料(如金属铝、铜、铬等,或非金属氧化物、氮化物等)加热到其蒸发温度或溅射温度,使其由固态变为气态或离子态,然后在真空环境下沉积在基材表面。对于金属材料,通常采用电子束蒸发、离子束溅射等方法。对于非金属材料,通常采用磁控溅射、电弧溅射等方法。
真空镀膜机的主要结构包括真空室、镀膜源、基材框架等。真空室是镀膜机的主要部分,通常由不锈钢或铝合金材料制成,内含真空泵、阀门、管道等设备。涂层源是用来产生涂层材料蒸气或离子束,以便将其沉积在物体表面,常见的涂层源有电阻炉、电子束蒸发器、磁控溅射等。基板框架是用于固定被涂覆物体的支撑结构。
此外,真空镀膜机还包括电源部分、工艺气体输入系统、机械传动部分等。电源部分主要是目标电源,包括直流电源、中频电源、脉冲电源、射频电源等。工艺气体输入系统负责将工艺气体,如氩气、氪气、氮气等送入真空室。机械传动部分保证了在涂覆过程中,涂覆要求必须在涂覆周围厚度均匀。
综上所述,真空镀膜机通过其精密的结构和复杂的工作原理,实现了在真空环境下对物体进行高质量、高性能的镀膜处理,从而提高了物体的美观性、耐腐蚀性、耐磨性等性能。