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真空状态是支持真空镀膜机运行的环境,特别是要求高真空的设备。通常,我们需要达到高真空。抽气系统的功能是必不可少的。然而,除了抽气系统外,真空镀膜设备运行期间还有另一点,即工件的脱气。
有些工件中含有大量的气体和水分。当设备被加热时,这些物质会被排放到真空室中,从而降低真空度。此外,一些气体含有有毒成分,直接损坏真空室内的机械结构,导致设备无法正常运行。此外,在涂层过程中,由于工件内气体的加热和膨胀,很容易使涂层开裂。当然,这种情况的可能性取决于工件本身的物理特性。塑料等易膨胀的概率相对较高,而金属等硬材料的机械膨胀率相对较低,但不能忽略。因此,对工件进行脱气是非常必要的。
通常,我们使用的工件脱气方法是烘烤。工件中的气体和水分通过加热排出。涂层前,工件在泵送时加热。当工件中的水分和气体因加热而释放时,它们与真空室中的气体一起被真空泵抽出来。
针对不同工件采取不同的除气措施,有效控制工件内部气体和水分的排放,提高涂层的稳定性和均匀性。真空镀膜机的分类及应用范围真空镀膜机主要是指需要在高真空下进行的一种镀膜,包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等多种,主要思想分为蒸发和溅射。