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补充：我公司使用某工厂的涂布机和单扩散泵。现在的问题是抽气变得太慢。对于半炉以上的产品，要求为2.0-2，需要一个多小时。有两个多小时了！然而，在更换产品后，需要20分钟将其泵送至2.0-2，这比其他熔炉大约多5分钟。我用酒精测试了漏气情况，没有漏气。我不知道是什么问题。我希望专家能回答！
网友回答:
1.从粗泵检查。如果泵送时间长，则滑阀泵有问题或前管路漏气。如果粗泵正常，则为扩散泵。一般情况下，应清洁泵腔并更换泵油。然而，有时这些问题无法用几句话来解释清楚。每个人都知道如何检测泄漏，但每次都是一件小事，因此，花了很多时间才找到原因！
2.有两种可能：一种是扩散泵油量不足，另一种是真空环境下内电极或活动挡板有微漏水。只有仔细检查后才能发现这些问题
