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真空镀膜机由专用真空镀膜机完成。其工作过程和原理是：基板由涂布机机械手输送，进入涂布机真空室。在强电场和强磁场的作用下，高压电离氩离子产生高速运动，轰击靶表面，激发的金属离子粘附在衬底表面形成反射膜。
真空镀膜设备基本知识：
1、真空：用真空泵将容器内的气体抽出来，使空间内的气体状态低于一个大气压，即空间内的气体分子密度低于该区域内的气体分子密度。
2、真空中残余气体的稀薄程度就是真空度，即真空度。通常用压力（PA）表示
3、1pa是作用在1m2面积上的1n压力。1 atm=1.03× 105帕
4、升压率：单位时间内真空度下降的速率。单位：PA/h
5、真空泵的抽速（单位：L/s）：当泵装有标准试验盖并按规定条件运行时，试验盖上的气体流量与试验盖上规定位置测得的平衡压力之比。
6、极限真空度：（单位：PA）：在规定条件下工作而不引气时趋于稳定的最 低压力。
