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如何维护真空镀膜设备？真空镀膜设备维护有哪些技巧？现在很多厂家对真空镀膜设备的维护保养不是很清楚。当他们需要进行维修时，却无法开机，这让很多真空镀膜设备厂家头痛不已。今天，我想和大家分享一下如何维护真空镀膜设备以及维护过程中的三大技巧。
1、真空镀膜设备应每200道镀膜工序清洁一次工作间。本方法的目的是避免反复接触氢氧化钠溶液烧伤皮肤。然后用清水清洗真空室，用沾有汽油的布清洗精抽阀内的污物。
2、粗油泵（滑阀泵、旋片泵）连续工作一个月（雨季为半个月）时，需更换新油。方法是：拧上打开的油螺栓，排干旧油，然后启动泵几秒钟，使泵内的旧油完全排出。拧上机油螺栓并向机油油位添加新机油（机油观察镜观察）。连续使用半年以上的，换油时打开油盖，用布擦净箱内污垢。
3、扩散泵连续使用6个月以上，泵速明显减慢，或操作不当。将其灌入大气，取下连接水管，取下电炉板，拧出一次喷嘴，用汽油清洗泵室和泵箱，然后用掺水的洗衣粉清洗，再用清水彻底清洗。待水蒸发后，安装泵箱，加入新的扩散泵油，将扩散泵回油安装到机器上，连接水管，安装电炉，然后重新启动机器。重启前注意检漏。方法是：启动检修泵，关上门，几分钟后，观察扩散泵真空度是否达到6x10pa，否则要进行检漏。检查接头是否有密封胶圈，或密封圈是否压坏。加热前排除漏气隐患，否则扩散泵油会烧坏油环，无法进入工作状态。
