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真空镀膜机的特性分析
2021-04-12
真空镀膜机的特性分析真空镀膜机的膜均匀性概念如下1、晶格有序度的均匀性:这决定了薄膜是单晶、多晶和非晶的,这是真空镀膜技术中的一个热点问题。2、化学成分均匀性:也就是说,在薄膜中,化合物的原子成分由于尺度小,容易产生不均匀的特性。如果SiO
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真空镀膜机的工作原理
2021-01-29
真空镀膜机设备主要是指需要在高真空下进行的镀膜,包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等多种。其主要思想分为蒸发和溅射。真空镀膜机的工作原理是薄膜在高温下蒸发并在工件表面结晶。由于空气对蒸发膜分子的阻力,晶体变得粗
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