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磁控溅射方法可用于制备多种材料,如金属、半导体、绝缘子等.它具有设备简单、易于控制、涂覆面积大、附着力强等优点.磁控溅射发展至今,除了上述一般溅射方法的优点外,还实现了高速、低温、低损伤。以下是磁控溅射的六大应用.
1、各种功能薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏振等功能.例如,在低温下沉积氮化硅减反射膜以提高太阳能电池的光电转换效率.
2、微电子:可作为非热镀膜技术,主要用于化学气相沉积(CVD).
3、装饰领域的应用:如各种全反射膜和半透明膜;比如手机壳、鼠标等.
4、一些不适合化学气相沉积(MOCVD)的材料可以通过磁控溅射沉积,这种方法可以获得均匀的大面积薄膜.
5、机械工业:如表面功能膜、超硬膜、自润滑膜等.这些膜能有效提高表面硬度、复合韧性、耐磨性和高温化学稳定性,从而大大提高产品的使用寿命.
6、光领域:闭场非平衡磁控溅射技术也已应用于光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃.特别是,透明导电玻璃广泛应用于平板显示器件、太阳能电池、微波和射频屏蔽器件和器件、传感器等.
除上述领域外,磁控溅射在高温超导薄膜、铁电薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池、记忆合金薄膜的研究中也发挥着重要作用.
