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对于磁控溅射真空镀膜机的涂布基板,商家经常考虑工艺是否满足其需要,以及镀膜成品和如何控制膜均匀性。市场上很多产品对薄膜均匀性的要求都很高,比如电子产品、机械零件等市场上的一些日常应用,因此,在购买磁控溅射镀膜机时,很多商家会更加关注这一系列的问题。
薄膜均匀性是磁控溅射真空镀膜机的一项重要指标。因此,为了更好地实现磁控溅射均匀镀膜,有必要研究影响磁控溅射均匀性的因素。简而言之,磁控溅射是指在正交电磁场中,闭合的磁场将电子结合在一起,使其绕靶表面作螺旋运动。在运动过程中,工作气体氩不断受到冲击,大量氩离子被电离。氩离子在电场的作用下加速了对靶的轰击,靶质子(或分子)飞溅并沉积在基底上形成薄膜。因此,为了获得均匀的涂层,有必要均匀地溅射目标原子离子(或分子),这要求轰击目标的氩离子均匀地轰击。由于氩离子在电场作用下轰击靶材,要求电场均匀。然而,在实际的磁控溅射装置中,有些因素很难完全、绝 对均匀,因此有必要研究它们的不均匀性对成膜均匀性的影响。实际上,磁场和工作气体的均匀性是影响成膜均匀性的主要因素。磁场较大时,薄膜较厚,反之,薄膜较薄,磁场方向也是影响均匀性的重要因素。就气压而言,在一定气压条件下,大气压位置的薄膜较厚,相反,薄膜较薄。
在日常生活中,我们也会看到磁控溅射真空镀膜机的镀膜不均匀。一般来说,在处理时,首先要保证磁场的均匀性和方向一致性,从而形成相对均匀的空间磁场。然后,尽量确保上下气压的均匀性。在设计真空室时,考虑真空泵的安装位置、工艺气体的进气方式和工艺气体管道在腔室中的布置。最后,由于磁场和气压都不是理想的,因此可以通过不均匀的气压来补偿不均匀的磁场,从而使最终的薄膜均匀。最后,靶-基距离也是影响溅射膜均匀性的重要因素