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磁控溅射镀膜机靶电源空载电压的影响因素

2021-08-23 16:30:41

一、磁控溅射镀膜机靶电源空载电压的影响因素

(1) 目标电源输出的空载电压主要用于磁控目标的“点火”,其峰值电压大致可分为三档,即约800v-1kv-1.2(或1.3)kV。

(2) 目标电源在5kW以下输出的空载电压的峰-峰Vp-p一般在1~1.3kv左右;对于5kW以上的目标电源,输出空载电压的峰-峰Vp-p约为800~1kV;电源功率越大,输出空载电压越接近较小值。

(3) 对于铁磁目标(铁、钴、镍、氮化铁)和其他铁氧体目标,在选择目标电源输出的空载电压时,必须选择目标电源输出的空载电压的峰间Vp-p范围的较大值。

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