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1、 过滤阴极弧：FCA配有高效的电磁过滤系统，可以过滤离子源产生的等离子体中的宏观粒子和离子团簇。经过磁过滤后，沉积颗粒的解离率为100%，大颗粒可以过滤，因此薄膜非常致密、光滑、耐腐蚀，与机体结合力强。
2、 增强型磁控阴极弧：阴极弧技术是在真空条件下，通过低压大电流将靶材分离成离子态，从而完成薄膜材料的沉积。增强型阴极电弧能在电磁场的共同作用下有效地控制靶面上的电弧，使材料的解离率更高，薄膜性能更好。
3、 离子束DLC：烃类气体在离子源中被分离成等离子体。在电磁场的作用下，碳离子被离子源释放出来。通过调节施加在等离子体上的电压来控制离子束的能量。在衬底上引入氢离子束，沉积速度与离子电流密度成正比。星弧镀膜的离子束源采用高电压，离子能量较大，使薄膜与衬底的结合力很好；较大的离子电流使类金刚石薄膜的沉积速度较快。离子束技术的主要优点是可以沉积超薄多层结构，过程控制精度可以达到几埃，并且可以将过程中粒子污染造成的缺陷降到最 低。
4、 磁控溅射：在真空环境中，电离的惰性气体离子在电压和磁场的共同作用下轰击靶材，使靶材以离子、原子或分子的形式弹出，沉积在衬底上形成薄膜。根据不同的电离电源，导体和非导体材料都可以作为溅射靶。
