真空镀膜机的保养步骤？

2021-03-18 16:31:10

次

在我们的日常生活中，我们总是维护真空镀膜设备，但很多人都不按照步骤拆卸和安装真空镀膜机。今天，我们将介绍真空镀膜机的维护步骤

真空镀膜机

首先，我们必须确保涂层机与地面完全接触。扩散泵、增压泵加热前，必须先打开冷却水，启动检修泵。扩散泵、增压泵停止工作时，泵半小时后才能关闭，一小时后可切断。但是，当泵不冷却到80℃以下时，冷却水不能切断，防止堆芯燃烧。

每个扩散泵和增压泵都有备用出水口。涂层机发生故障或停电时，必须打开备用出口，冷却扩散泵和增压泵。涂层前，所有设备的冷却水入口必须连接，以防止电极和基体材料燃烧。扩散泵和增压泵加热时，不要接触大气，以免泵油氧化。定期检查调整水流继电器，检查断水报警是否正常，确保设备冷却水供应顺畅。在拆卸涂布机零件时，注意保护密封工作面不受机械划伤或损坏，确保涂布机密封性能可靠。

设备各传动轴真空密封采用“骨架油封”密封形式，骨架油封内充有真空润滑脂，饱和油蒸汽压力极低，扩散泵油。使用一段时间后，它将丢失。必须用相同的真空润滑脂和扩散泵油加注。不得用其他机油更换。