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薄膜生产技术在电子产品中的应用主要包括集成电路和半导体涂层、各种显示元件的涂层、电子管和传感器。之前已经介绍了半导体和各种显示元件的镀膜,本文主要介绍了真空镀膜设备在电子管和传感器领域的应用。
首先是电子管
摄像管,用于电视、照相机。
1、光导性好,涂覆靶材为CdS3、Se-As-Te、ZnSe、PbO,采用蒸发涂覆I艺术薄膜。
2、透明导电膜,涂布靶为SnO、In2O3,采用蒸发或溅射涂布I艺术膜。
3、电极,涂覆靶材为Cr、Cu(Au),采用蒸发涂覆I艺术膜。
2. 传感器
1、约瑟夫逊装置,用于超级计算机。
(1) Josephson接头,涂层靶材为PbO+In2O、Pb、Nb、NbN、V3Si,采用蒸发或溅射涂层工艺形成薄膜。
(2)保温膜,涂布靶材为SiO2、SiO,采用蒸发或溅射涂布工艺。
(3)电极,涂覆靶材为Au+Pb+In,Pb+Au+Pb,采用蒸发涂覆工艺形成薄膜。
2、磁泡,应用于计算机存储器。
(1)传感器(气泡),涂层靶材Fe-Ni,采用蒸发或溅射涂层工艺。
(2)保温膜,涂覆靶材为Al-Cu,采用CAI法涂覆工艺形成膜。
(3)电极,涂层靶材为SiOz,通过溅射涂层I形成薄膜。
3、磁盘,适用于计算机内存。
传感器的涂层靶材为Fe、CO、Fe2O3、Fe3O4,通过蒸发或溅射涂层工艺形成。