真空设备维护及故障判断

2022-06-17 14:27:12

次

真空镀膜设备有很多种。根据您需要的真空度来选择不同类型的设备，一方面是设备本身的泵速和极端真空度，另一方面是您所处环境的严密性。实验中常用的真空设备，如循环水泵，是一种常见的真空，可用于过滤和基本的旋转蒸发。如果比较好，隔膜泵、多级隔膜泵、旋转叶片泵、油泵、分子涡轮泵等等。

真空镀膜设备维修的关键是判断故障。可能有几个原因导致真空不会出现。需要查明的原因是什么，是真空机组抽真空能力不足或漏气率高;或两者兼而有之。这时要耐心观察记录，找出故障原因。如抽真空时间相同，真空度较低时，关闭高压阀。如果量规指针迅速下降，在大多数情况下真空室会泄漏。首先要做的是找到漏洞。

真空镀膜设备

如真空表指针下降缓慢，多数情况下真空机组抽真空能力不足。这时可以重点查找真空泵和阀门，看哪里有泄漏，或者扩散泵的油被污染、氧化;或者是前管路密封不好，泵油不够;或出现泵油乳化、轴封漏油、阀门损坏等故障。用户ZZ头疼的是漏检率的问题。泄漏分为内泄漏和外泄漏;外漏比较容易检测，内漏比较难检测。火焰法可用于寻找较大的泄漏点，利用气流可使火焰偏离的原理，先真空，用蜡烛或打火机逐渐搜索可疑点周围。如果发现火焰偏离泄漏，可以发现泄漏。在旋转叶片泵的工作范围内，可以使用国产检漏仪检测泄漏情况。目前已生产出ZHC.1型仪器。检漏仪采用ZJ.2电离管，连接到旋转叶片泵的吸口进行检测。如果是扩散泵单元，则可以测量IOPa类泄漏率。