真空镀膜机介绍

真空镀膜机原理

真空镀膜机是真空生产中应用最广泛的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+多芯”组成。我公司专业从事真空镀膜设备的研发和生产，拥有经验丰富的技术队伍和高素质的售后服务队伍，解决设备使用中遇到的任何问题。其次，详细介绍了真空镀膜机各部分的组成和工作原理。

1、 根据加工产品的要求，实际型腔的尺寸也不同。目前使用最广泛的有1.3m、0.9m、1.5m、1.8m等，腔体采用不锈钢“靶材”=37911;坯料＞不锈钢制成，要求不生锈、坚固。真空室的每个部分都设有连接阀，以连接泵。

2、 辅助泵送系统：排气系统是涂布机真空系统的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵（主要引进罗茨泵）和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+冷阱+多芯”组成。排气过程如下：机械泵先将真空室抽至小于2.0*10-2Pa的低真空状态，为后续扩散泵抽真空提供了前提。随后，当扩散泵抽真空腔时，机械泵与油扩散泵串联，完成抽气作业。

机械泵：又称前级泵，是应用最广泛的低真空泵。它利用油来保持密封效果，通过机械方法不断改变泵内吸入腔的容积，使被泵送容器内的气体体积不断膨胀，获得真空。

1机械泵的分类：机械泵有多种类型，包括滑阀式（主要用于大型设备）、往复活塞式、固定板式和旋片式（应用最广泛，本文主要介绍）四种类型。

真空泵的机械参数的选择至关重要。2单级泵可将容器从大气中抽至1.0*10-1pa的极限真空，而两级机械泵可将容器从大气中抽至6.7*10-2Pa，甚至更高。泵送速率是指叶片泵在额定转速下运行时，单位时间内可排出的气体量。由下式计算：sth=2nvs=2nfsl FS为吸入端空腔的截面积，l为空腔的长度，系数表示转子每转有两个排气过程，vs表示转子处于水平位置时，机械泵的排气效果也与电机转速和皮带松紧度有关。当电机皮带比较松，电机转速很慢时，机械泵的排气效果会变差。因此，需要定期维护和点检。机械泵油的密封效果也需要经常检查。如果油太少，机械泵的密封效果就达不到。泵内会漏气，油量过多，会堵塞吸入孔，无法吸气和排气，一般情况下，油位线以下0.5cm就足够了。

三。机械泵通常用于排除干燥空气，但不能去除含氧量高、爆炸性和腐蚀性气体。机械泵一般用于去除永远性气体，但对水蒸气没有很好的作用，所以不能去除水蒸气。叶片泵的主要部件有定子、转子、弹簧片等。转子在定子内，但与定子主轴不同，像两个内接圆。转子槽内有两个弹片，弹簧安装在两个弹性片的中间，保证弹簧片与定子内壁紧密贴合。