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真空镀膜机是由许多精密的零部件所组成的，这些零部件均经过许多机械加工流程而制作出来，如焊接、磨、车、刨、镗、铣等工序。正因为有了这些工作，导致设备零部件表面不可避免地会沾染一些加工带来的油脂、油垢、金属屑、焊剂、抛光膏、汗痕等污染物。这些污染物在真空条件下易挥发，从而对设备的极限真空造成影响。
此外，这些机械加工带来的真空污染物在大气压环境中吸附大量的气体，而到了真空状态下，这些原先吸附的气体也会被再次释放出来，成为限制真空系统的极限真空的一大主要因素。为此，在真空镀膜机零件组装之前，必须先将污染物清除掉。
在使用真空设备过程中，其零部件还会受污染。不过这种来源的污染主要是使用条件、真空泵两方面造成的。
1、真空规管的灯丝在高温条件下蒸发，将导致陶瓷绝缘子上形成一层薄膜，对其绝缘强度有一定的损坏，对其测量的准确性也有一定的影响；
2、由于高温蒸发，会使真空中的电子枪的灯丝附近表面形成一层金属膜；
3、由于工件溅射，离子束刻蚀设备的内壁会被溅散物所污染；
4、真空蒸发镀膜设备的内壁会被其蒸镀靶材材料污染；
5、经常使用真空干燥系统，该系统会受蒸发出来的物质所污染；
6、真空镀膜机中的扩散泵油、机械泵油等更是一大主要污染来源，镀膜机长期工作后，设备内部可能会形成一层油膜。
