真空离子镀设备的工作原理是什么

真空离子镀膜设备起源于20世纪60年代D.M.Mattox提出的理论，且在当时开始有了对应的实验；直到1971年，Chamber等发表电子束离子镀膜技术；而反应蒸镀（ARE）技术则是在1972年的Bunshah报告所指出，此时产生了TiC及TiN等超硬质的薄膜类型；同样是在1972年，Smith和Moley在镀膜工艺中采用了空心阴极技术。到了20世纪80年代，我国离子镀终于达到工业应用的水准，相继出现了真空多弧离子镀及电弧放电型离子镀等镀膜工艺。

真空离子镀的整个工作过程是：首先对真空室进行真空处理，直到真空环境压力达到4x10⁻PA以上，接通高压电源，在基板和蒸发器之间形成一个带有低压放电气体的等离子体低温区。阴极辉光放电是由衬底电极与5000v直流负高压连接而成。惰性气体离子在负辉光区附近产生。它们进入阴极暗区，被电场加速并轰击在基底表面。这是一个清洁过程。之后，他们进入涂层过程。通过轰击和加热，一些电镀材料被汽化。在等离子体区，它们进入质子，与电子和惰性气体离子发生碰撞，部分被电离，高能电离离子轰击薄膜表面，在一定程度上改善了薄膜质量。

真空离子镀的原理是：在真空室中，利用气体或蒸发物的电离部分的放电现象，在蒸发物离子或气体离子的轰击下，将这些蒸发物质或其反应物同时沉积在衬底上，得到薄膜。

佛山市佛欣真空技术有限公司由董事长武文全先生创办，武文全先生从事真空技术行业已有30年。 公司自创立以来，坚持“技术创新，质量优先，用户至上”的宗旨，在质量检测方面，工厂配备进口氦质谱检漏仪、数字示波器等先进设备进行质置检测，确保设备质量，经过不断创新，锲而不舍的努力，在业界赢得良好口碑。 公司专注于各类镀膜设备制造，主要产品有：多弧离子镀膜机、磁控溅射镀膜机、玻璃陶瓷专用镀膜机、五金装饰镀膜机、大型货架家居用品专用镀膜机。超大直径不锈钢板专用镀膜机等。设备广泛应用于建材、大型五金、钟表、手机、航空航天、电子、玩具、电脑配件、汽车、装饰品等行业。此外，我们还设有专业人员。 我们致力为客户提供高品质的真空设备和核心的技术支持，还可以为客户提供个性化的解决方案以及快捷优质的售后服务。 诚信，创新，团结，务实，奉献是佛欣的精神，是我们不断的追求，为您提供优质的服务是我们的承诺。 佛山市佛欣真空技术有限公司期待与您的合作成功。