真空镀膜机原理

真空镀膜机是真空生产中应用广泛的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+多芯”组成。我公司专业从事真空镀膜设备的研发和生产，拥有经验丰富的技术队伍和高素质的售后服务队伍，解决设备使用中遇到的任何问题。其次，详细介绍了真空镀膜机各部分的组成和工作原理。

一、真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢" target=_blank>不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。

二、辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。

机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。

1、机械泵的分类：机械泵有多种类型，包括滑阀式（主要用于大型设备）、往复活塞式、固定板式和旋片式（应用广泛，本文主要介绍）四种类型。

2、机械泵是在大气中工作的。其主要参数包括极限真空度和抽速，是机械泵设计和选型的重要依据。单级泵可将容器从大气中抽至1.0*10-1pa的极限真空，而两级机械泵可将容器从大气中抽至6.7*10-2Pa，甚至更高。泵送速率是指叶片泵在额定转速下运行时，单位时间内可排出的气体量。由下式计算：sth=2nvs=2nfsl FS为吸入端空腔的截面积，l为空腔的长度，系数表示转子每转有两个排气过程，vs表示转子处于水平位置时，机械泵的排气效果也与电机转速和皮带松紧度有关。当电机皮带比较松，电机转速很慢时，机械泵的排气效果会变差。因此，需要定期维护和点检。机械泵油的密封效果也需要经常检查。如果油太少，机械泵的密封效果就达不到。泵内会漏气，油量过多，会堵塞吸入孔，无法吸气和排气，一般情况下，油位线以下0.5cm就足够了。

3、机械泵通常用于排除干燥空气，但不能去除含氧量高、爆炸性和腐蚀性气体。机械泵一般用于去除永 久性气体，但对水蒸气没有很好的作用，所以不能去除水蒸气。叶片泵的主要部件有定子、转子、弹簧片等。转子在定子内，但与定子主轴不同，像两个内接圆。转子槽内有两个弹片，弹簧安装在两个弹性片的中间，保证弹簧片与定子内壁紧密贴合。

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