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真空镀膜机如何除尘
2020-10-10
低真空抽气的基本要求是高工作压力和大风量,但对抽速的要求不如高真空机组。因此,镀膜机的低真空抽气机通常用作粗真空室。低真空泵通常采用罗茨泵、分子筛吸附泵、油蒸汽喷射泵、蒸汽喷射泵、水环泵、往复泵、油封泵等,这些常见的低真空泵除了罗茨泵和蒸汽
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真空离子镀设备的工作原理是什么
2020-10-10
真空离子镀膜设备起源于20世纪60年代D.M.Mattox提出的理论,且在当时开始有了对应的实验;直到1971年,Chamber等发表电子束离子镀膜技术;而反应蒸镀(ARE)技术则是在1972年的Bunshah报告所指出,此时产生了TiC及
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