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真空电镀设备的不均匀镀膜厚度
2023-03-28
真空电镀设备的不均匀镀膜厚度:不管监视器的精度如何,它只能控制真空室中单个点的薄膜厚度,通常是工件架的中间位置。如果真空电镀设备的该位置处的膜厚度不是相对均匀的,则远离中心位置的基板不能获得均匀的厚度。尽管屏蔽可以消除长期的不均匀性,但膜厚
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