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多弧离子镀膜机有几种排气方法
2021-12-22
多弧离子电镀机的真空通常采用以下排气方法:简单排气工艺、抽真空加热排气工艺、空气预热排气工艺。多弧离子电镀机的方法简单的排气过程机的真空室真空离子电镀机疏散到15pa的机械泵大气压力和室温,然后是高真空扩散泵注入到排气体积减少到允许的范围
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