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多弧离子电镀机的真空通常采用以下排气方法:简单排气工艺、抽真空加热排气工艺、空气预热排气工艺。
多弧离子电镀机的方法简单的排气过程机的真空室真空离子电镀机疏散到15 pa的机械泵大气压力和室温,然后是高真空扩散泵注入到排气体积减少到允许的范围内。
这是获得高真空的一种简单、常见的排气方法。对于真空离子镀膜机来说，抽吸效果非常差，不仅抽吸时间需要特别长，而且吸附剂不能再活化。因此，纯排气工艺只适用于带多层绝热量热计且不能加热的真空容器的排气
