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1、 每完成200道涂装工序，真空涂装机应清洁一次工作间。
方法是：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室壁（注意，人体皮肤不能直接接触烧碱溶液，以免烫伤）。目的是使镀膜材料铝与氢氧化钠发生反应。反应后，薄膜脱落并释放出氢气。然后用清水清洁真空室，并用沾有汽油的布清洁精抽阀中的污垢。
2、 扩散泵连续使用6个月以上，泵速明显减慢，或操作不当。充入大气，拆下连接水管，拆下电炉板，旋出一次喷嘴，用汽油清洗泵室和泵箱，然后用洗衣粉清洗，然后用清水彻底清洗。待水蒸发干后，安装泵箱并添加新的扩散泵油，安装机身，连接水管，安装电炉板，即可重启机器。重新启动前注意泄漏检测。
方法是：启动检修泵，关上门，几分钟后观察扩散泵真空度是否达到6x10 PA，否则应进行检漏。检查密封橡胶圈是否安装在连接处或密封圈是否压碎。必须消除漏气隐患后才能进行加热，否则扩散泵油会烧坏环，无法进入工作状态。
3、 粗泵（滑阀泵、旋片泵）连续工作一个月（雨季减半）时，需更换机油。
方法是：拧下开油螺栓，排尽旧油，然后启动泵几秒钟，将泵内的旧油排尽。拧下回油螺栓并添加新机油至规定量（用机油观察镜观察）。连续使用半年以上，换油时打开油盖，用布擦净箱内污垢。
