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真空条件是支持真空镀膜机运行的环境,尤其是需要高真空的设备。通常,我们需要达到高真空,而抽气系统的作用是必不可少的。然而,除了抽气系统外,真空镀膜设备的操作还有另一点,即工件的脱气。
有些工件中有许多气体和水分。设备加热时,这些物质将排入真空室,降低真空度。此外,一些气体含有有毒成分,直接损坏真空室内的机械结构,导致设备无法正常运行。此外,在涂层过程中,工件中气体的加热和膨胀将使涂层膜开裂。当然,这种情况的可能性取决于工件本身的物理特性。塑料等简单膨胀的概率相对较高,而硬质金属的机械膨胀率相对较低,但不可忽视。因此,对工件进行脱气是非常必要的。
通常,我们使用的工件脱气方法是烘烤。加热后,排出工件中的气体和水。在涂层之前,空气被抽到一起加热工件。当工件中的水和气体由于加热而释放时,它们与真空室中的气体一起被真空泵抽出来。