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很多人不重视真空镀膜设备的维护保养，导致真空镀膜设备出现很多问题。真空镀膜设备的维护秘诀是什么？以下PVD镀膜设备厂家将告诉您。
使用真空镀膜设备时，每完成200道镀膜程序，应使用烧碱（NaOH）饱和溶液清洁设备。应使用苛性钠（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室壁（注意，人体皮肤不能直接接触苛性钠溶液以避免烧伤）。目的是使镀膜材料铝（AL）与NaOH反应，反应后薄膜脱落，释放氢气。然后用清水清洁真空室，并用沾有汽油的布清洁精抽阀中的污垢。完成每200道涂层程序后，应清洁工作室。抽油泵（滑阀泵、旋片泵）连续工作一个月（雨季减半）时，也需要更换新油。拧下油口螺栓，排空旧油，然后启动泵几秒钟，以完全排空泵中的旧油。拧下回油螺栓并添加新机油至规定量（用机油观察镜观察）。
连续使用半年以上，换油时打开油盖，用布擦净箱内污垢。当扩散泵连续使用超过6个月时，泵速显著降低。扩散泵连续使用6个月以上，泵速明显减慢，或操作不当。充入大气，拆下连接水管，拆下电炉板，旋出一次喷嘴，用汽油清洗泵室和泵箱，然后用洗衣粉和水清洗，然后用清水清洗。待水蒸发干后，安装泵箱，加入新的扩散泵油，装回体内，连接水管，安装电炉板后，即可重启机器。重新启动前注意泄漏检测。然后，启动维护泵并关闭闸门。几分钟后，观察扩散泵真空度是否达到6x10 PA，否则应进行检漏。检查密封橡胶圈是否安装在连接处或密封圈是否压碎。必须消除漏气隐患后才能进行加热，否则扩散泵油会烧坏环，无法进入工作状态。
