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检查漏气是保证真空镀膜机真空度的一种方法，简称泄漏检测。真空度的凹凸直接影响涂层的效果，因此，泄漏检测是必不可少的。真空镀膜机真空室中的漏风通常是由室壁上的一些小孔或部件前的接头处产生的。当空气由抽气系统抽气时，真空室内压力降低，内外压差使气体由外高压流向低压真空室，导致真空度降低。
在检漏过程中，要做好泄漏检测工作，需要注意一些问题
1、应承认，虚漏仍然是真实泄漏，因为工件数据加热后会产生不同程度的气体，可能会误认为气体从外部流入，即虚拟泄漏。这种情况应该消除。
2、测试真空室的气体密封功能，确保气体密封功能满足要求。
3、检查泄漏的大小、形状、方向和速度，制定解决方案并实施。
4、确定检测仪表的最小检漏率和灵敏度，限度地检查漏气情况，防止漏泄被忽略，提高检漏精度。
5、掌握检漏仪的反应时间和消除时间，掌握好时间，确保检漏仪工作到位。如果时间少，检漏效果肯定差。如果时间较长，则会浪费检漏气体和人工电费。
6、防止泄漏堵塞也有必要。有时，由于操作不当，一些粉尘或液体在检漏过程中堵塞了泄漏，认为在这个方向上没有泄漏。但是，当由于内外压差或其他原因导致泄漏未堵塞时，仍存在泄漏。做好真空镀膜机泄漏检测工作是十分重要的。真空度降低的原因很多。为了稳定涂层的性能，需要逐一解决这些问题。
