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真空镀膜机精密抽速慢的原因主要有以下几个方面
1、扩散泵可能并不可怕。
解决方案：可以将电离计连接到扩散泵的端口，以查看扩散泵通过单次泵送可以达到的效果。它取决于泵送时间和极限，然后进行比较。
2、 真空系统有微泄漏。
解决方案：这需要缓慢的泄漏检测，以查看真空保持时间是否能达到标准。
3、 如果盒子太脏，释放的空气量会很大。
解决方案：清洁盒子
4、前级真空度不好，机械泵或机械泵加罗茨泵的极限真空度不好。
解决方案：电阻计可单独检测前管。
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