多弧离子镀机电弧蒸发源原理

2021-01-18 17:17:50

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多弧离子镀膜机电弧蒸发源的工作原理是冷阴极自维持电弧放电，是一种场发射。蒸发源的典型基本结构是：受镀基材与阴极相接，阳极接真空室。当真空室被抽到较高的真空状态时，触发电极起动器被打开，在阳极和阴极之间形成稳定的电弧放电。另一方面，在阴极表面有许多快速移动的阴极斑点。光斑直径在1μm到2μm之间，也有直径约为10μm的光斑，每秒可移动几十米。电流密度为10a/CM-10a/CM，电极间电压也降低到20v-40v。

真空镀膜机

于阴极斑前面是一些等离子体，电子迅速向阳极移动，离子处于相对静止的状态。在涂层空间中，阴极斑点前的正离子聚集形成正空间电荷，在阴极表面附近形成10v/CM10，但有些离子受到阴极的轰击，导致阴极斑点的快速蒸发和电离，使阴极斑点成为微斑点的蒸发源。在阴极靶材范围内，由于绝缘屏蔽和磁场的作用，这些微点蒸发源在该范围内不规则运动，形成均匀的大面积蒸发源。

所谓多弧离子镀膜机是一种以多弧蒸发源为核心的离子镀膜设备，又称多弧镀膜、电弧镀膜、电弧镀膜等