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一、如何维护真空镀膜设备的旋转真空泵?
1、定期检查油的质量。如果真空油乳化或变质,应及时更换真空油,以保证真空泵的正常工作。
2、真空泵更换真空油的期限由用户根据实际使用情况及是否能满足性能要求而定。一般新型真空泵,抽出清洁干燥的气体,建议工作100小时左右换油一次。在油中看不到黑色金属粉末后,今后可适当延长更换真空油的期限。
3、禁止使用其他种类的油。务必使用专业的真空油。经常检查油位,如不符合要求应调整至符合要求。当旋转叶片真空泵运行时,油位达到油标记的中心。
4、正常情况下,真空泵应在运行2000小时后进行检修,检查橡胶密封件的老化程度,检查排气门是否有裂纹,并将积在气门和排气门座上的污物清理干净。清洗整个真空泵腔内的零件,如转子、叶片、弹簧等,一般用汽油清洗并干燥。清洗后用干布擦干橡胶件。清洁和装配时,小心轻放以免损坏。
5、检查真空泵管路及接头有无松动、漏气现象。用手转动真空泵,看它是否灵活。
6、如有可能,清洁管道,确保管道畅通。
7、禁止长时间吸烟!严禁无油或无油作业。抽真空系统与真空泵的连接处应安装真空阀。停机前应关闭通道,以防止真空返回待泵系统!确保泵送的系统没有腐蚀性气体。
8、旋片真空泵重新组装后,应投入试运行。一般应空载空转2小时,换油2次。在清洗过程中,旋片式真空泵箱内会残留一定量的挥发物。挥发后,投入正常运行。