真空镀膜机原理

2020-12-03 15:35:00

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真空镀膜机是真空生产中应用广泛的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+多芯”组成。我公司专业从事真空镀膜设备的研发和生产，拥有经验丰富的技术队伍和高素质的售后服务队伍，解决设备使用中遇到的任何问题。其次，详细介绍了真空 镀膜机各部分的组成和工作原理。

一、真空镀膜机主体——真空腔根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢" target=_blank>不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。

二、辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。