真空镀膜机的抽气有哪些要求

真空镀膜机依靠真空抽气系统的抽气来获得镀膜的真空环境。真空的抽气系统通常根据不同设备的真空度和清洁度要求，从而选择不同的真空抽气系统。一般真空系统的真空区域划分有：极高、超高真空系统，高真空系统，中、低真空控制系统这三个等级的划分。这三个级别的真空系统分别由不同的主泵、辅助泵及其它相关真空部件构成。

例如：极高、超高真空系统的要求就是高清洁度，因此需要采用高性能的低温泵、离子泵、涡轮分子泵和冷阱等装置，才可达到极高、超高真空环境；高真空系统通常以机械泵、扩散泵、插板阀、冷阱、障板等部件组成，主泵可以是低温泵、涡轮分子泵，也可以是钛升华泵、溅射离子泵与低温障板等装置构成的无油高真空或者抽气设备，可进一步研究减少油污染，至于前级的粗抽则用吸附泵；中、低真空系统，便是以机械泵或机械泵辅以加罗茨泵为主要组成部分，或者加装分子筛阱则可防止油污染，但加装分子筛阱的话，则要注意在实际抽真空操作时，避免分子筛固体粉末被吸进机械泵。

对于各种不同等级的真空系统，在真空抽气的启停、操作、故障发生等过程中，都要注意气对真空清洁度的影响，即对污染的防护能力都有相应的严格控制要求，要求必须可以通过相关操作技术规程。比如广东振华科技真空镀膜设备抽真空过程中的要求主要有：

1、避免机械泵吸入分子筛吸附阱中的分子筛及其固体颗粒；

2、为避免回温后的事故发生，吸附泵要装设抗压力爆破装置；

3、停机时，高真空泵的停止要在真空室隔离、排除液氮、回温之后进行；

4、扩散泵不得与真空室或冷阱相通，因为在泵运行前和停泵的20min内的油蒸气污染太大；

5、在某环境的机械泵只能抽15Pa-20Pa或更高的压力，否则会有严重的反流污染问题。

如果一个真空镀膜机的真空抽不上去或达不到真空设计要求，首先要检查两个方面，其一要进行检查抽气装置是否运作正常，其二要检查是否有不允许的放气源存在。对于镀膜机的各种真空零部件在设备组装之前，必须通过严格的清洁、烘干、检漏流程，确认这些零部件合格后才能投入使用。此外，还要检查可拆卸部位密封圈的清洁程度，以及密封面的划痕程度与连接紧密程度等。