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如何选择真空镀膜设备真空泵？
1、真空泵的工作过程是否受到振动的影响。如果工艺不允许，应选择无振动的泵或采取防振措施。
2、了解抽气的成分、气体中是否有可冷凝蒸汽、是否有颗粒粉尘、是否有腐蚀性等，在选择真空泵时，要了解气体成分，并为抽气选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒物和腐蚀性气体，应考虑在泵的进口管上安装凝汽器、除尘器等辅助设备。
3、在其工作压力下，真空泵应能排出真空设备过程中产生的所有气体。
4、真空设备要求如果设备严格要求无油，则应选择各种无油泵，如水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等，如果要求不严格，可以选择油泵，并采取一些防止油污的措施，如增加冷阱，挡板和集油器，也能满足清洁真空的要求。
5、真空泵的正确组合。由于真空泵的选择性抽气，有时一种泵不能满足抽真空的要求。它需要多台泵相互结合，互相补充，以满足抽气的要求。如果钛升华泵对氢有较高的抽运速度，但不能抽氦，而三极溅射离子泵（或双极非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽运速度，两者的结合将使真空装置获得更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有些出口压力低于大气压的真空泵需要增压泵，所以都需要组合泵。
6、正确选择真空泵的工作点。每台泵都有一定的工作压力范围，如：2BV系列水环真空泵工作压力范围为760mmhg~25mmhg（绝 对压力）。在如此大的压力范围内，泵的泵速随压力而变化（具体变化见泵的性能曲线），其稳定工作压力范围为760～60mmhg。因此，泵的工作点应选择在这个范围内，而不是在25～30mmhg下长期工作。
7、真空泵排出的油蒸气对环境的影响。如果环境不允许污染，可以选择无油真空泵，或将油蒸气排到室外。
8、真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如，真空干燥过程需要10mmhg的工作真空。所选真空泵的极限真空度应至少为2mmhg，理想的是达到1mmhg。一般情况下，泵的极限真空度比真空设备的极限真空度高出一半到一个数量级。
