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溅射真空镀膜技术是怎么样的?
2023-03-29
反应溅射如果有必要在衬底上沉积氧化物,则应使用反应溅射。除了溅射氩气之外,还将氧气引入真空室。氧气与靶材反应生成氧化物,如4Al(靶材)+3O2==>2Al2O3(基材)。射频溅射射频溅射(RF溅射)允许绝缘(非导电)材料的溅射沉积
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