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真空镀膜机是：蒸发镀膜一般是将靶材加热，使其表面的组分以原子团簇或离子的形式蒸发，并通过成膜过程（散射岛结构杂散结构层生长）沉积在基材表面形成薄膜。对于溅射镀膜，可以简单理解为用电子或高能激光轰击靶材，以原子团簇或离子的形式溅射表面组分，并将其沉积在衬底表面，最后形成薄膜。
那么同时，我们又该如何保养和爱护它，使它长寿呢？
一般扩散泵连续使用6个月以上，泵速明显减慢，或操作不当，充入大气，拆下连接管，拆下电炉板，拧出一次喷嘴，先用汽油清洗泵腔和泵罐，然后用洗衣粉兑水再次清洗，再用清水彻底清洗，待水挥发干后，安装泵箱，加入新的扩散泵油，将扩散泵回装到机体上，连接水管，安装电炉托盘，真空镀膜设备可以重启。重启前注意检漏。
方法1：启动检修泵，关上门，几分钟后，观察扩散泵真空度是否达到6x10pa，否则要进行检漏。检查接头是否有密封胶圈，或密封圈是否压坏。只有消除漏气隐患后才能进行加热，否则扩散泵油会烧坏环，真空镀膜设备不能进入工作状态。
方法2：用氢氧化钠饱和溶液反复擦洗真空室壁（注意人体皮肤不能直接接触氢氧化钠溶液，以免灼伤）。目的是使镀在膜上的铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜脱落，释放氢气。然后用清水清洗真空室，用沾有汽油的布清洗精抽阀内的污物。
粗油泵（滑阀泵、旋片泵）连续工作一个月（雨季为半个月）时，需更换新油。
方法3：拧上打开的油螺栓，排干旧油，然后启动泵几秒钟，使泵内的旧油完全排出。拧上机油螺栓并向机油油位添加新机油（机油观察镜观察）。连续使用半年以上的，换油时打开油盖，用布擦净箱内污垢。
